Trealamh Miotalaithe Fholúis

An bhfuil Bratuithe PVD Sábháilte?

Teicníc atá neamhdhíobhálach don chomhshaol nó “plátála” is ea próisis sil-leagan fisiceach a laghdaítear go mór an méid substaintí tocsaineacha a chaithfear a úsáid, a bhainistiú agus a dhiúscairt i gcomparáid le próisis “fliucha” eile lena mbaineann réamhtheachtaithe sreabháin agus imoibrithe ceimiceacha a úsáidtear chun an toradh céanna a bhaint amach. . Toisc go bhfuil sé in ann bratuithe atá thar a bheith íon, glan agus marthanach a tháirgeadh, is é an Teistíocht Glais Fhisiciúil an rogha teicneolaíochta don tionscal máinliachta agus ionchlannáin leighis.

An bhfuil a fhios agat cad é meaisín sciath? Tagraíonn sé go príomha do chineál sciath is gá a dhéanamh faoi leibhéal ard bhfolús, lena n-áirítear go leor cineálacha, lena n-áirítear galú ian bhfolús, sputtering magnetron, epitaxy bhíoma mhóilíneach MBE, taisceadh sputtering léasair PLD agus go leor eile.

Áirítear leis an gcóras folúis caidéal meicniúil, caidéal crióigineach, comhla garbhaithe, comhla foreline, comhla geata, agus tomhas folúis chun folús a bhrath. Le linn sputtering magnetron, ba cheart tionchar nítrigine, ocsaigine agus gal uisce ar an bpróiseas a íoslaghdú, agus mar sin ní mór an chéim fholús a bheith faoi bhun 0.13 mPa ~ 4 Pa. Úsáidtear caidéil Nowdry agus caidéil chrióigineacha go ginearálta. Úsáidtear an caidéal tirim chun folús íseal a chaidéil. I gcomparáid leis an gcaidéal ola meicniúil bunaidh, is féidir leis an ola agus an gás sa chaidéal ola a chosc ó dhul isteach sa seomra folúis, an tsubstráit a éilliú, agus an greamaitheacht idir an scannán agus an tsubstráit a laghdú. De ghnáth, tar éis an caidéal tirim a phumpáil faoi bhun 6.5 Pa, osclaítear an comhla geata, agus úsáidtear an caidéal crióigineach chun ardfholús a chaidéil. Na caidéil chrióigineacha arb iad is sainairíonna luas caidéalaithe ard, go háirithe an cumas a bhaint gal uisce an-láidir.

Is éard atá sa chóras sciath sputtering ná soláthar cumhachta DC, ábhar sprioc, uisce fuaraithe, maighnéad buan, feiste téimh foshraithe, sciath, ciseal sciath, etc. Is é seo an chuid lárnach den stáisiún sputtering magnetron. Soláthraíonn an soláthar cumhachta DC ardvoltas diúltach de 300-1 000 V agus cuireann sé i bhfeidhm é ar an sprioc, ionas go mbeidh an targetis ag an gcatóid agus an tsubstráit ag an anóid. Úsáidtear uisce fuaraithe chun an sprioc-ábhar a fhuarú chun an sprioc-teocht a chosc ó ardú ró-tapa mar gheall ar sputtering. Ba cheart an phíblíne uisce fuaraithe a dhéanamh as ábhair inslithe mar phíobáin phlaisteacha, ní píopaí miotail. Is féidir le gléas téimh an tsubstráit neamhíonachtaí cosúil le gal uisce a bhaint ar an tsubstráit, rud a d'fhéadfadh feabhas a chur ar an greamaitheacht idir an scannán agus an tsubstráit. Ina theannta sin, i gcás roinnt miotail, is féidir le teocht oiriúnach cáilíocht an scannáin a fheabhsú.

Iarratas

Paraiméadar

Ár gcomhlacht

Clibeanna Te: trealamh metalizing bhfolús, an tSín, soláthróirí, monaróirí, monarcha, saincheaptha, ceannach, praghas, luachan