Meaisín Cumhdach Spin

Is cineál sputtering magnetron é freisin sputtering minicíochta idirmheánach.

Tá go leor cineálacha sputtering magnetron ann, ar féidir iad a roinnt ina sputtering magnetron DC, sputtering minicíocht raidió, agus sputtering maighnéadrón minicíochta idirmheánach de réir na foinse cumhachta a úsáidtear. Is é an soláthar cumhachta a úsáidtear i DC magnetron sputtering ná soláthar cumhachta ardvoltais DC, de ghnáth 300-1000 V, arb é is sainairíonna é ráta sputtering tapa, costas íseal, agus cothabháil saor sa tréimhse níos déanaí. Mar sin féin, ní féidir ach spriocanna miotail a sputtered. Más inslitheoir é an sprioc, de réir mar a théann an sputtering chun cinn, déanfaidh an sprioc muirear mór a charnadh, rud a fhágann nach féidir leanúint ar aghaidh le sputtering. Dá bhrí sin, úsáidtear sputtering DC magnetron de ghnáth le haghaidh spriocanna miotail. Mar gheall ar a chostas íseal agus struchtúr simplí, úsáidtear go forleathan é i dtionscal. Is gnách go mbíonn minicíocht an tsoláthair chumhachta RF a úsáidtear i sputtering maighnéadrón RF 13.56 MHz, rud a d'fhéadfadh an fhadhb a réiteach nach féidir le sputtering DC magnetron sputtering spriocanna inslithe. Is iad seo a leanas na saintréithe atá ag sputtering magnetron RF: is féidir spriocanna bothinsulating agus spriocanna miotail a sputtered, agus tá an greamaitheacht idir an scannán agus an tsubstráit láidir. Mar sin féin, mar gheall ar an struchtúr agus an fheiste casta, ardphraghas an tsoláthair chumhachta RF, an costas cothabhála ard, an radaíocht don chorp daonna, agus an gá atá le líonra meaitseála seachtrach, níl sé oiriúnach le haghaidh táirgeadh tionsclaíoch. Is minic a úsáidtear sputtering maighnéadrón minicíochta idirmheánach le haghaidh sputtering imoibríoch chuig scannáin chumaisc ullmhachta. Chomh maith leis an argón, cuirtear méid beag de gháis imoibríocha ar nós nítrigine, ocsaigine, etc. chuig an gcuas chun móilíní na ngás imoibríocha seo a thaisceadh le hadaimh an sprioc-ábhar. isteach ar an tsubstráit chun scannán cumaisc mhiotail a fhoirmiú. Ós rud é go n-úsáidtear sputtering DC magnetron go forleathan i dtionscal, cuimsíonn an tábla sputtering magnetron córas bhfolús, córas sciath sputtering, gás agus córas rialaithe.

Iarratas

Paraiméadar

Ár gcomhlacht

Clibeanna Te: meaisín sciath casadh, an tSín, soláthraithe, monaróirí, monarcha, saincheaptha, ceannach, praghas, luachan